本机为 Vertical 立式 300mm12 英寸Diffusion Furnace 扩散炉搭载 Zeston-III 六段独立温控加热区工艺温度区间 680℃-1250℃恒温区温度稳定性 ±1℃最大升温速率 20℃/min、降温速率 9℃/min单石英 Boat 标准载片量 100 片 300mm Wafer。整机配套 CX3010 工艺控制器支持多组 PID 参数存储、SECS/GEM 产线通讯多路 MFC Mass Flow Controller 精准管控 O₂、N₂、H₂、Dichlorosilane 等工艺气体适配 Thermal Oxide 热氧化、离子扩散、Metal Anneal 金属退火、钴硅化物制程。供电规格分 208V 单相、440V 三相双模式内置水循环 PCW 冷却系统与 OTCD 过温切断保护炉腔配微粒拦截滤网、石英防溅射护罩自动舟传送 Robot 实现无人工上下料。二手设备分级保养规范每日巡检冷却水流量、气路检漏每周吹扫炉管入口微粒过滤器校准 MFC 气体流量零点每月校验六区热电偶温度偏差清洁舟传动轨道润滑季度拆解炉口密封件更换氟橡胶垫圈氮吹净化炉腔内壁污染物年度整体高温烘炉除气检修加热丝绝缘、传动伺服电机规避温区偏移、气体配比失准、颗粒超标等二手设备通病。来源合规声明仅供交流不做商业用途参数溯源国际半导体设备交易平台 CAE 官方设备备案、原厂 KOKUSAI 产品公示资料。海翔科技 专业提供全球二手半导体设备免责声明Disclaimer一、内容溯源与适用范围Source Scope of Application本文全部技术参数、结构原理、机型适配及对比数据均源自设备原厂官方资料、权威标准文献及公开招标验收文件仅用于技术研究、方案对比及行业参考不作任何商业用途。二、内容效力与权责界定Validity Liability Definition本文观点与结论为通用技术参考非设备原厂官方定论不构成任何商业承诺、履约标准及验收依据未经原厂实测核验不得用于项目验收、举证追责。三、风险承担与合规说明Risk Assumption Compliance Statement使用者擅自套用、篡改本文内容产生的一切风险与法律责任由使用者自行承担本文作者及所属单位不承担任何连带责任。若存在版权及侵权异议将及时核实整改。