KEYENCE VR-3100 3D 轮廓测量工作头适配控制器 VR-3000K广泛应用于半导体 Package、BGA 焊球、MEMS 器件表面形貌检测。设备搭载 1 英寸 400 万像素单色 CMOS 图像传感器配置两组投光双远心镜头Double Telecentric Lens与一组受光双远心镜头工作距离Working Distance固定 75 mm。光学变焦范围 14 倍搭载 RGB 三色 LED 环形观察光源与白色 LED 测量光源图像输出支持 1024×768 pix、2048×1536 pix 两种分辨率。测量模式分为大视野模式Wide-field Mode与高倍率模式High Magnification Mode可测高度依次为 10 mm±5 mm、1 mm±0.5 mmZ 轴显示分辨率 0.1 μm。设备环境使用条件为环境温度 1530 ℃相对湿度 35%80% RH无结露工况整机工作头重量 22.5 kg。二手设备日常保养要点定期吹扫镜头光路避免半导体粉尘附着禁止触碰远心镜头镀膜层控制存放温湿度防止 CMOS 传感器受潮定期校准 Z 轴高度基准测试光源亮度衰减闲置时加盖防尘罩减少光学元件老化。海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。免责声明Disclaimer一、内容溯源与适用范围Source Scope of Application本文全部技术参数、结构原理、机型适配及对比数据均源自设备原厂官方资料、权威标准文献及公开招标验收文件仅用于技术研究、方案对比及行业参考不作任何商业用途。二、内容效力与权责界定Validity Liability Definition本文观点与结论为通用技术参考非设备原厂官方定论不构成任何商业承诺、履约标准及验收依据未经原厂实测核验不得用于项目验收、举证追责。三、风险承担与合规说明Risk Assumption Compliance Statement使用者擅自套用、篡改本文内容产生的一切风险与法律责任由使用者自行承担本文作者及所属单位不承担任何连带责任。若存在版权及侵权异议将及时核实整改。