OMAP-L137嵌入式控制核心:eCAP、eQEP与eHRPWM外设原理与实战配置
1. 项目概述深入解析OMAP-L137的三大核心控制外设在嵌入式实时控制系统的开发中无论是驱动一台精密的伺服电机还是管理一个高效的开关电源亦或是精确测量一个旋转编码器的速度和位置其底层都离不开几个核心硬件模块的支撑。如果你曾为如何精准测量一个脉冲的宽度、如何解码电机编码器的正交信号或者如何生成一个高分辨率且带死区互补的PWM波形而头疼那么今天讨论的这三个外设——eCAP、eQEP和eHRPWM——就是你工具箱里不可或缺的“瑞士军刀”。以德州仪器的OMAP-L137这颗经典的ARM9DSP双核处理器为例它集成的这些增强型外设绝非简单的定时器可比。它们是为工业级实时控制量身定制的专用硬件能够将CPU从繁重的、高精度的时序任务中解放出来。很多工程师拿到芯片手册看到密密麻麻的寄存器表和复杂的时序图可能会感到无从下手。其实只要理解了它们各自的核心任务和设计哲学应用起来便会豁然开朗。简单来说eCAP增强型捕获模块是一位高精度的“时间记录官”专门负责抓取外部信号边沿发生的精确时刻eQEP增强型正交编码器模块是一位专业的“运动解码器”专门解读来自光电或磁性编码器的正交信号从而获取速度、方向和位置而eHRPWM增强型高分辨率脉宽调制器则是一位强大的“波形雕刻师”能够生成精度极高、带死区保护和各种故障响应的PWM信号。本文将带你穿透数据手册的表格与图表深入这三个模块的内部逻辑。我会结合多年的实际项目经验不仅告诉你每个寄存器位该怎么设置更会解释为什么这么设置以及在电机控制、电源转换等真实场景中如何将它们组合运用规避常见的陷阱。无论你是正在评估OMAP-L137用于新项目还是希望深化对嵌入式控制硬件的理解这篇文章都将提供从原理到实战的完整视角。2. 核心外设功能定位与设计哲学在嵌入式处理器中集成通用定时器Timer是常规操作但像OMAP-L137这样专门为控制领域集成eCAP、eQEP和eHRPWM这类增强型外设则体现了其面向实时控制应用的明确定位。理解它们与普通定时器的区别是正确选型和应用的第一步。2.1 通用定时器与专用外设的本质区别OMAP-L137本身也包含通用的64位/32位定时器Timer64P它们功能灵活可通过编程实现定时、计数、比较输出和输入捕获等基本功能。然而这种“通用性”在面临高性能控制需求时往往意味着巨大的软件开销和时序不确定性。例如用一个通用定时器实现编码器计数你需要配置为正交计数模式如果支持或者在两个GPIO中断中手动判断相位和方向并维护计数器。在高速情况下频繁的中断会消耗大量CPU资源且容易因中断延迟丢失脉冲。而eQEP模块则是一个完整的硬件解决方案它内部集成了正交解码逻辑、位置计数器、位置比较单元、甚至速度测量单元。编码器的A、B两相脉冲直接接入硬件引脚方向判断、四倍频计数均由硬件实时完成CPU只需在需要时读取位置计数值即可效率与可靠性天壤之别。同理用通用定时器产生PWM你需要设置周期、比较值并在中断中更新占空比难以实现高分辨率和高同步性。eHRPWM模块则提供了完整的波形生成链路包括时基、比较、动作限定、死区生成、故障保护等子模块全部由硬件自动管理精度可达纳秒级。eCAP模块的专用性体现在其“事件捕获”的深度上。普通定时器的输入捕获可能只有一个或两个捕获寄存器而eCAP拥有4个深度级联的32位时间戳寄存器CAP1-CAP4可以记录一个事件序列中多达4个精确时刻例如脉冲的上升沿、下降沿、下一个上升沿、再下一个下降沿并支持单次或连续环形缓冲模式非常适合测量脉冲序列的周期、占空比或复杂事件的时序间隔。2.2 eCAP高精度事件捕捉分析仪eCAP模块的设计核心是精确的时间戳记录。其核心是一个32位的自由运行计数器TSCTR以系统时钟SYSCLK2为基准。当外部输入引脚ECAPx上发生预设的事件如上升沿、下降沿时硬件会自动将当前TSCTR的值锁存到对应的CAPx寄存器中。它的强大之处在于其灵活的事件序列控制。通过ECCTL1和ECCTL2寄存器你可以为连续4次捕获事件CEVT1到CEVT4独立配置边沿极性上升沿或下降沿。例如你可以设置为CEVT1捕获上升沿CEVT2捕获下降沿CEVT3捕获上升沿CEVT4捕获下降沿。这样在一次完整的捕获序列中你就能自动获得一个脉冲的高电平起始时间、结束时间、下一个脉冲的起始时间……从而轻松计算出周期和占空比。注意eCAP的输入引脚通常与GPIO复用。在初始化时务必通过引脚复用控制器将相应引脚配置为eCAP功能而非普通的GPIO输入。否则外部信号无法触发捕获事件。模块支持两种工作模式捕获模式CAPTURE和APWM模式。在捕获模式下它专注于上述的时间戳记录功能。而在APWM模式下eCAP可以摇身一变成为一个简单的PWM发生器此时CAP1和CAP2寄存器分别作为周期和比较值寄存器使用。虽然功能不如eHRPWM强大但在需要少量额外PWM输出的场合非常方便。2.3 eQEP运动控制的位置与速度传感器接口eQEP模块是连接旋转或线性编码器的标准接口。它的设计目标是无损、实时地解码正交信号并提供丰富的运动反馈信息。其工作流程可以分解为几个硬件单元协同工作正交解码单元QDU直接处理来自编码器的A、B两相正交信号。硬件自动判断方向正转时A领先B反转时B领先A并对A、B的边沿进行四倍频计数从而将编码器的物理分辨率提高4倍。位置计数器QPOSCNT一个32位的位置计数器根据QDU的输出进行递增或递减计数。这是最核心的位置信息。位置比较单元包含QPOSCMP比较值和QPOSMAX最大位置值寄存器。当QPOSCNT与QPOSCMP匹配时可产生中断或同步信号常用于实现“电子凸轮”或寻原点功能。QPOSMAX用于设置计数器的计数范围实现位置循环计数。速度测量单元这是eQEP的精华之一。它提供了两种测速方法基于单位时间的位置差QPOSCNT在固定时钟周期内的变化量和基于位置变化的单位时间编码器产生一个脉冲所需的时间。后者尤其适合低速高精度测量。该单元通过捕获定时器QCTMR和捕获周期寄存器QCPRD自动计算速度极大减轻了CPU负担。实操心得在电机启动和极低速运行时基于单位时间的测速法方法一可能因为位置计数器未变化而得到零速度。此时应优先使用基于位置变化的单位时间法方法二它能捕捉到单个脉冲的时间间隔从而实现真正的零速检测和极低速高精度测量。2.4 eHRPWM工业级精密波形发生器eHRPWM模块是电机驱动和数字电源的核心。它的设计哲学是提供高可靠性、高灵活性、高精度的PWM波形生成与管理能力。一个完整的eHRPWM通道如eHRPWM1A和1B为一对由多个子模块构成一条精密的处理流水线时基模块TB核心是16位的计数器TBCNT和周期寄存器TBPRD。计数器可以配置为递增、递减或增减计数模式其循环周期决定了PWM的载波频率。计数比较模块CC包含CMPA和CMPB两个16位的比较寄存器。当TBCNT的值与CMPA/CMPB匹配时会产生相应的事件。动作限定模块AQ接收来自TB和CC的事件如计数器等于零、等于周期、等于CMPA、等于CMPB、计数方向变化等并根据预先配置的动作规则置高、拉低、翻转来驱动原始的EPWMxA和EPWMxB信号。这是决定PWM输出行为对称、不对称、中央对齐等的关键。死区生成模块DB接收AQ模块输出的原始信号为互补的一对PWM信号如用于驱动半桥的上下管插入可编程的上升沿延迟和下降沿延迟防止上下管直通短路。故障保护模块TZ这是安全性的保障。当外部故障引脚TZn被触发如过流、过温TZ模块可以立即将PWM输出强制为高电平、低电平或高阻态响应时间在纳秒级远快于软件中断。高分辨率PWM扩展HRPWM这是“增强型”的体现。通过微边沿定位MEP技术它可以在传统数字PWM的一个系统时钟周期内实现更精细的时间调节步长可达200ps从而极大地提高了PWM的有效分辨率特别适用于需要高精度电压控制的数字电源应用。3. 寄存器配置详解与实战编程指南理解了模块的宏观架构后我们需要深入到寄存器层面这是驱动开发的基石。OMAP-L137为每个外设都提供了一套精密的寄存器集配置它们就像在操作一台复杂仪器的控制面板。3.1 eCAP寄存器配置与测量流程eCAP的寄存器虽然不多但每个位都至关重要。我们以测量一个方波信号的周期和占空比为例展示配置流程。步骤一引脚与时钟初始化首先配置系统控制模块确保eCAP模块的时钟SYSCLK2已使能。然后通过引脚复用寄存器将目标引脚例如ECAP1功能设置为eCAP输入而非GPIO。步骤二核心寄存器配置假设我们使用eCAP1模块其寄存器基地址为0x01F0 7000。ECCTL1捕获控制寄存器1这是主控制寄存器。CAPxPOL位为四个捕获事件选择边沿极性。例如设置CAP1POL0上升沿CAP2POL1下降沿CAP3POL0上升沿CAP4POL1下降沿。这样我们就定义了一个捕获序列上升沿-下降沿-上升沿-下降沿。CTRRSTx位定义捕获事件发生时是否复位TSCTR计数器。通常我们会在CEVT4事件序列结束时复位计数器CTRRST41这样每个捕获序列都从一个已知的基准开始方便计算时间差。CAPLDEN位使能捕获事件发生时将TSCTR值加载到CAPx寄存器。CONT/ONESHT位选择连续模式还是单次模式。连续模式下4个捕获寄存器构成环形缓冲区不断循环覆盖单次模式下捕获满4个事件后停止。初始化时常使用单次模式。ECCTL2捕获控制寄存器2TSCTRSTOP位控制TSCTR计数器的启停。在配置完成后将其置1启动计数器。RE-ARM位在单次模式中一次序列捕获完成后需要向此位写1来重新装载序列准备下一次捕获。STOP_WRAP位定义在单次模式下捕获到哪个事件后停止通常设为CEVT4。ECEINT中断使能寄存器使能你需要的中断例如CEVT4中断表示一个完整的捕获序列已完成。步骤三计算与读取当CEVT4中断触发后我们可以在中断服务程序中读取CAP1-CAP4的值。周期计算Period (CAP3 - CAP1) * TSCTR_Clock_Period。因为CAP1和CAP3分别记录了连续两个上升沿的时刻。占空比计算Duty_Cycle (CAP2 - CAP1) / (CAP3 - CAP1) * 100%。CAP2是第一个下降沿CAP1是第一个上升沿两者之差即为高电平时间。注意事项TSCTR是32位计数器需注意溢出问题。在计算时间差时如果CAP3小于CAP1发生了计数器溢出实际差值应为CAP3 (0xFFFFFFFF - CAP1 1)。在连续测量高频信号时建议使用连续模式并结合中断定期读取环形缓冲区中的数据并处理溢出逻辑。3.2 eQEP寄存器配置与位置/速度读取配置eQEP以实现电机编码器的位置和速度反馈。步骤一引脚与正交信号配置配置EQEPxA和EQEPxB引脚为eQEP功能。在QDECCTL寄存器中设置正交解码模式QSRC0选择正交计数模式。还可以配置是否对输入信号进行反相SWAP位、是否启用索引脉冲复位位置计数器XCR位等。步骤二位置计数器与比较单元配置QPOSCNT这是实时位置值可读可写。上电或寻零后可以将其清零或设为一个初始值。QPOSMAX设置位置计数器的最大值。当QPOSCNT达到QPOSMAX并继续增加时会绕回0或QPOSINIT适用于旋转轴的角度表示0-360度。QPOSCMP设置位置比较值。当QPOSCNT等于QPOSCMP时会置位标志位并可产生中断。这在需要到达特定位置触发动作时非常有用。步骤三速度测量单元配置这是eQEP的亮点。以基于单位时间的测量法为例QEPCTL寄存器开启速度测量功能VELEN1。QUPRD寄存器设置单位定时器周期。例如设置QUPRD System_CLK / 100则表示单位定时器每10ms溢出一次。QPOSLAT寄存器在单位定时器QUTMR溢出中断中读取QPOSLAT寄存器。这个寄存器在每次QUTMR溢出时会自动锁存当前的QPOSCNT值。速度计算速度 (本次QPOSLAT值 - 上次QPOSLAT值) / (单位时间)。单位时间由QUPRD决定。方向由QEPSTS寄存器中的QDF位指示。步骤四中断管理在QEINT寄存器中使能需要的中断源如单位定时器溢出中断UTO、位置比较匹配中断PCM、索引脉冲中断IEL等。在中断服务程序中读取QFLG标志并清除。3.3 eHRPWM寄存器配置与互补PWM生成生成一对带死区的互补PWM信号例如用于驱动一个半桥是eHRPWM的典型应用。步骤一时基模块TB配置TBCTL配置计数模式。对于电机控制常用增减计数模式CTRMODE UP_DOWN以产生中央对齐的PWM谐波特性更好。设置时钟预分频HSPCLKDIV和CLKDIV以得到所需的时基时钟。TBPRD设置PWM周期值。PWM频率 SYSCLK2 / (HSPCLKDIV * CLKDIV * TBPRD * 2)增减模式。TBPHS相位寄存器。可用于同步多个eHRPWM模块使它们同时开始计数在多相电机或交错并联电源中至关重要。步骤二计数比较模块CC配置CMPA和CMPB设置比较值。在增减计数模式下CMPA通常控制占空比。占空比 CMPA / TBPRD。CMPB可用于产生另一个事件例如在另一路PWM上产生不同的占空比或用于触发ADC采样在计数器等于CMPB时采样这是电机控制中的常见技巧。CMPCTL配置影子寄存器加载模式。为了在PWM周期中间安全地更新占空比避免毛刺通常设置LOADAMODE LOAD_CNT_ZERO这样写入CMPA的影子寄存器后新值会在下一个计数器为零时一个PWM周期开始才加载到活动寄存器。步骤三动作限定模块AQ配置这是决定输出波形行为的关键。以生成一对互补PWM为例EPWMxA为高有效EPWMxB为低有效AQCTLA控制A输出ZRO SET计数器等于零时将EPWMxA置高。CAU CLEAR计数器等于CMPA递增过程中时将EPWMxA拉低。CAD SET计数器等于CMPA递减过程中时将EPWMxA置高。在增减模式下这保证了波形对称PRD CLEAR计数器等于周期时将EPWMxA拉低。AQCTLB控制B输出可以配置为与A输出相反的逻辑例如ZRO CLEARCAU SETCAD CLEARPRD SET。但更常见的做法是A和B配置为相同的动作如同为高有效然后通过死区模块来生成互补信号这样更灵活。步骤四死区模块DB配置DBCTL使能死区发生器OUT_MODE AHC_BHC或ALC_BLC等取决于你需要的极性并选择输入源通常来自AQ模块的输出。DBRED设置上升沿延迟值对于EPWMxA是上升沿延迟对于互补的EPWMxB则是下降沿延迟。DBFED设置下降沿延迟值。关键点死区时间 延迟值 * DB模块的时钟周期。DB模块的时钟由时基时钟分频而来通过DBCTL中的HALFCYCLE和SEL位配置。必须根据功率器件的开关速度仔细计算并设置足够的死区时间这是硬件安全的第一道防线。步骤五故障保护TZ配置TZSEL选择哪些故障输入引脚TZ1-TZ3可以触发本PWM模块的故障响应。TZCTL配置当故障发生时EPWMxA和EPWMxB的输出动作。通常设置为“强制为高阻态Hi-Z”或“强制为低电平”以立即关断功率管。TZEINT使能故障中断以便在故障发生后CPU可以进入中断服务程序进行错误诊断和系统恢复。4. 系统集成与高级应用场景单独使用每个外设已经能完成特定任务但OMAP-L137的强大之处在于这些外设可以协同工作并与CPUARM/DSP、DMA、ADC等模块联动构建出复杂的闭环控制系统。4.1 eCAP与eHRPWM的联动精确的脉冲宽度测量与反馈控制在一个开关电源的电压环控制中我们需要测量输出电压的纹波或频率。假设我们使用一个电压频率转换电路将电压值转换为脉冲信号其频率或占空比与电压成正比。测量将此脉冲信号接入eCAP模块配置为连续捕获模式测量其频率或占空比。计算CPU或DSP核读取eCAP捕获的时间戳计算出实际的电压值。控制根据计算出的电压值与目标值的误差运行PID控制算法计算出新的PWM占空比。输出将新的占空比值写入eHRPWM模块的CMPA影子寄存器。eHRPWM会在下一个PWM周期开始时自动更新输出调整功率开关的导通时间从而稳定输出电压。在这个过程中eCAP实现了高精度的模拟量数字化通过频率/占空比而eHRPWM则执行了高精度的数字控制量输出。两者通过CPU的算法连接形成了一个高速的闭环。4.2 eQEP与eHRPWM的闭环电机控制FOC矢量控制基础这是无刷直流电机BLDC或永磁同步电机PMSM矢量控制FOC的典型架构。位置/速度反馈电机上的光电编码器或旋转变压器经解码后输出A、B、Z信号接入eQEP模块。eQEP实时提供高精度的转子电角度通过位置计数器换算和速度信息。电流采样与ADC触发电机相电流通过采样电阻和运放送入ADC。eHRPWM的CMPB事件或CTRZERO/PRD事件被配置为触发ADC开始采样。这里有一个关键技巧在中央对齐PWM的波谷计数器为零或波峰计数器为周期值时触发ADC采样可以避开功率管开关瞬间的噪声获得最稳定的电流值。Clarke/Park变换与PID控制CPU通常是DSP核读取ADC的电流采样值和eQEP提供的角度进行Clarke和Park变换得到在旋转坐标系下的直轴电流Id和交轴电流Iq。将其与目标值比较经过PID控制器运算得到新的电压矢量Vd和Vq。逆Park/SVPWM生成将Vd和Vq进行逆Park变换得到静止坐标系下的电压矢量再通过空间矢量脉宽调制SVPWM算法计算出三个半桥的6个PWM占空比。PWM更新将计算出的占空比写入三个eHRPWM模块控制三相逆变器的CMPA/CMPB影子寄存器。eHRPWM硬件自动在下一个周期更新驱动电机旋转。整个过程中eQEP和eHRPWM提供了硬实时的时间基准和硬件同步确保了电流环、速度环、位置环控制的稳定性和快速性。4.3 利用DMA减轻CPU负担在上述应用中频繁地读取eCAP捕获值、eQEP位置值或更新eHRPWM比较值会产生大量中断消耗CPU资源。OMAP-L137的外设大多支持DMA传输。可以将eCAP的连续捕获模式与DMA结合设置DMA在CAP4寄存器被更新时自动将4个时间戳值搬运到内存中的环形缓冲区。CPU只需定期处理缓冲区中的数据即可避免了每次捕获都进中断。对于eHRPWM虽然更新比较值通常由控制算法在固定中断中执行但一些固定的波形序列也可以预先存入内存由DMA按顺序自动加载到CMPA寄存器实现复杂的波形播放。5. 常见问题排查与调试技巧实录在实际硬件调试中外设不工作或行为异常是家常便饭。以下是一些基于真实项目经验的排查清单和技巧。5.1 eCAP模块“抓不到”信号现象配置完成后外部信号有变化但CAP寄存器始终为0不更新。排查步骤引脚复用这是最常见的原因。首先确认相关引脚的复用控制寄存器PINMUX是否已正确设置为eCAP功能而不是GPIO或其他功能。时钟使能确认外设时钟控制模块中eCAP模块的时钟是否已使能。OMAP-L137中许多外设时钟默认是关闭的以省电。输入信号极性检查ECCTL1.CAPxPOL位是否与输入信号的边沿匹配。用示波器观察输入引脚确认信号是否真的到达电压电平是否符合要求。计数器状态检查ECCTL2.TSCTRSTOP位是否为1计数器运行。读取TSCTR寄存器的值看它是否在递增。中断与标志即使不使用中断也可以轮询ECFLG寄存器中的CEVT1-CEVT4标志位看它们是否被置位。如果标志位置位但CAP寄存器没值检查ECCTL1.CAPLDEN位是否使能了加载。连续模式下的指针在连续捕获模式下有一个“捕获序列指针”指向下一个将要使用的CAP寄存器。通过ECCTL2.CAPxAPWM位和ECCTL2.CTRPHS等位可以间接判断指针状态。确保序列已正确重载RE-ARM。5.2 eQEP位置计数器不计数或计数错误现象电机转动但QPOSCNT值不变、乱跳或只向一个方向变化。排查步骤信号质量首先用示波器同时观察EQEPxA和EQEPxB引脚。确保是两路相位差90度的方波且没有严重的毛刺和抖动。过长的导线、未匹配的终端电阻都可能导致信号畸变。解码模式检查QDECCTL.QSRC位确认设置为正交计数模式00b。如果设成了方向计数模式则需要额外的方向信号。输入反相检查QDECCTL.SWAP位。如果A、B相接反了计数方向会相反。也可以尝试交换物理接线。滤波器eQEP输入有数字滤波器通过QDECCTL配置。如果输入信号有抖动可以适当增加滤波采样周期QDECCTL.QFLT。但注意过大的滤波会降低最高响应频率。索引信号如果使用了索引信号Z脉冲并配置了索引复位QDECCTL.XCR那么每次Z脉冲到来时QPOSCNT会被复位到QPOSINIT。如果索引信号不稳定会导致位置频繁归零。计数器溢出与比较如果设置了QPOSMAX计数器达到最大值后会归零。如果计数方向判断错误例如电机正转但计数器递减可能会很快触发比较或边界事件导致非预期行为。5.3 eHRPWM无输出或波形异常现象PWM引脚没有波形输出或者波形占空比不对、没有死区、不同步。排查步骤输出使能检查AQCTLA/AQCTLB寄存器是否配置了有效的动作SET/CLEAR/TOGGLE。如果所有事件都配置为“无操作”则输出将保持默认状态通常为高阻。引脚复用与方向确认PWM输出引脚已正确复用为eHRPWM功能并且引脚方向为输出。时基与比较值用调试器读取TBCNT、TBPRD和CMPA的值。确保TBCNT在循环计数且CMPA的值在0到TBPRD之间。如果CMPA大于等于TBPRD在增减计数模式下输出可能恒为高或恒为低。影子寄存器与活动寄存器这是最容易出错的地方。你写入的是CMPA的影子寄存器。必须确保影子寄存器加载模式CMPCTL.LOADAMODE配置正确并且等待加载事件如CTR0发生后新值才会进入活动寄存器并生效。在调试时可以直接读取CMPA活动寄存器的值看它是否与你写入的影子寄存器值一致。死区模块旁路检查DBCTL寄存器确认死区模块是否被使能OUT_MODE不为00b。如果你配置了死区但实际不需要或者配置了错误的极性会导致输出异常。可以先将DBCTL.MODE设为00b旁路模式看原始AQ输出是否正常。故障保护锁定如果TZ故障引脚被意外触发可能是噪声也可能是硬件故障并且TZCTL配置为强制高/低PWM输出会被锁死。检查TZFLG寄存器中的标志位如果被置位需要在排除故障原因后通过软件向TZCLR寄存器写1来清除标志PWM输出才会恢复。同步问题在多模块协同工作时检查主模块的TBCTL.SYNCOSEL和从模块的TBCTL.PHSEN配置。确保主模块的EPWMSYNCO输出已产生同步脉冲并且从模块的相位寄存器TBPHS已正确设置。可以用示波器观察EPWMSYNCI/EPWMSYNCO引脚上的同步脉冲。5.4 高分辨率PWMHRPWM精度不达标现象使能了HRPWM扩展但实际PWM边沿的调节精度远低于数据手册宣称的200ps。排查要点时钟质量HRPWM的微边沿定位MEP精度极度依赖于SYSCLK2的质量。必须使用稳定、低抖动的时钟源。检查PLL配置确保系统时钟干净。MEP校准HRPWM模块通常需要校准。TI的芯片支持库或驱动程序可能提供了自动校准函数。确保在初始化HRPWM后执行了校准流程。校准过程会测量实际的MEP步长并修正控制逻辑。寄存器配置高分辨率控制通常只作用于CMPA寄存器的扩展部分CMPAHR和相位寄存器的扩展部分TBPHSHR。确认你操作的是正确的寄存器并且HRCNFG寄存器配置正确例如选择CMPAHR控制上升沿、下降沿还是双边沿。负载影响测量时示波器探头的负载可能会轻微影响边沿时间。确保使用高阻抗、低电容的探头进行测量。