开短路测试Open/Short Test通常也称为连续性或连接性测试。在集成电路的制造过程中会有相应比例的制造缺陷导致DUT自身电路的开短路这些有缺陷的产品需要被筛选出来。由于在实际的生产测试中产品的成本与测试时间成正比因此需要一种可以快速分辨失效产品的测试方法。一开始就执行开短路测试可以快速地筛选出具有此种缺陷的产品同时也可以用来验证ATE与DUT间的电气连接是否正常。芯片测试项全部完成后也要在最后加一道OS测试目的是检查是否因测试导致芯片损坏。开短路测试通常是借助于DUT引脚的保护电路来完成的。通常在集成电路设计中为了保护输入、输出引脚使其避免受到静电放电ESD或其他过压情况导致的损坏会在引脚与地之间加入一个保护二极管有些电路也会同时在引脚与电源间加入保护二极管。这些保护二极管在电路正常工作时是反向截止的不会对电路的正常工作有任何影响。测量是DUT上的对地二极管开短路测试就是借助于这些保护二极管来完成的。测量时首先把所有引脚接地包括电源引脚。接下来把被测引脚接到ATE的PMU由PMU施加一个很小的电流这个电流会使得其中一个保护二极管正向导通通过测量这个导通压降就可以判断被测引脚的开短路状态。根据欧姆定理UI×R,当被测引脚短路时电阻R趋近于0测得电压也趋近于0而当被测引脚开路时电阻R相当于无穷大测得的电压会很大所以在做测试时需要对最大电压做钳制限制以避免输出电压过大损坏测试机和被测器件。