HP 5517B 激光头

HP 5517B 激光头HP 5517B激光头的核心特点如下双频氦氖He-Ne连续波激光器专为激光干涉仪位移测量系统设计。输出波长632.8nm红光线偏振光。最小输出功率≥120μW最大输出功率1mW。光束直径6mm光束高度79.5±1.0mm。参考频率范围1.9~2.4MHz选项H10为2.2~2.4MHz。最大线性速度538mm/s。需±15V直流供电15V最大2.2A-15V最大0.02A。预热功耗35W工作功耗23W。预热时间约90分钟达到稳定输出后方可进行高精度测量。真空波长稳定性1小时内±2ppb生命周期内±20ppb。功率稳定性与重复性均≤0.1%。工作温度范围10℃~40℃。重量约3.4kg安装时后方需预留至少12cm空间。适配基于VME和PC的激光干涉仪系统广泛应用于机床定位、坐标测量机及半导体光刻设备校准。HP 5517B平均无故障时间超过50,000小时可靠性高。综上HP 5517B是一款面向高精度位移测量的专用激光头性能稳定适合计量与半导体制造领域使用