编号类型领域子领域材料问题（数学分析及数学物理/数学化学/材料科学/界面科学/表面科学 + 计算架构/信息架构/通信架构/堆叠架构/应用架构/几何/拓扑/代数/数论/函数评估/数值估计/概率/统计/向量/张量/矩阵/矢量 + 其他）数学分析逐步推理思考的数学表达式及实现步骤及时序流程参数列表及参数的数值范围及常数/各类常量关联知识1理论分析微纳力学MEMS悬臂梁弯曲单晶硅 (Si)微悬臂梁在均匀分布载荷下的挠度分析（数学分析及数学物理 + 几何 + 材料科学 + 函数评估）1. 建立坐标系：梁长度L，宽度b，厚度h，固定端x=0，自由端x=L。2. 欧拉-伯努利梁方程：EIdx4d4w​=q(x)，其中E为杨氏模量，I=bh3/12为惯性矩，q(x)为分布载荷。3. 边界条件：w(0)=0,w′(0)=0,w′′(L)=0,w′′′(L)=0。4. 求解微分方程