MKS AX7700-10 远程等离子源RPS是 MKS ASTRON Paragon 系列中的一款智能射频等离子电源。该产品采用远程等离子体源RPS设计将等离子体生成区与工艺腔分离有效避免电极污染与金属溅射。凭借高水平的气体离解率95%和智能数据报告功能为半导体及泛半导体行业的干法清洁与工艺处理提供高效、低颗粒的等离子环境。一、产品应用领域10条半导体 CVD 腔室干法清洁半导体 ALD/ALE 腔室清洁半导体刻蚀工艺半导体晶圆干法清洗光刻胶去除去胶工艺晶圆表面活化处理平板显示器FPD面板制造LED 芯片制造光伏电池板制造一般工业等离子体表面处理二、核心产品参数5条产品系列MKS ASTRON Paragon 系列远程等离子源型号AX7700-10气体离解率95%气体流量最高 8 SLM合规认证CE 标志结尾综上所述MKS AX7700-10ASTRON Paragon 系列 RPS 远程等离子源凭借其95%的高气体离解率、最高 8 SLM 的气体流量及智能数据报告功能为半导体 CVD/ALD 腔室清洁及泛半导体行业相关工艺提供了高效、低污染的等离子体解决方案。