本机型属于 MagnaTran 7 系列真空 Wafer Transfer Robot适配 150mm 半导体 Wafer适配 Cluster Tool 真空腔室传输搭载无刷 DC 伺服电机、BiSymmetrik 双末端执行器End Effector兼容真空吸附夹持方案。整机四轴联动J1 旋转行程 ±359.9°J2 伸缩最大臂展 720mm垂直 Z 轴升降行程 220mm单轴最大运动速度 360°/s笛卡尔空间末端线速度 1200mm/s重复定位精度 ±0.5μm满足光刻、薄膜沉积制程高精度取放要求。整机真空工况适配 1×10⁻⁷Pa 高真空环境洁净等级 ISO Class 1符合 SEMI S2 安全规范供电规格单相 AC110/220V 50/60Hz配套 EtherNet TCP/IP 通讯控制器支持远程故障诊断与运动轨迹编程可兼容 Load Lock、Process Chamber、Cassette 多工位协同转运。整机自重 41kg末端额定负载 0.6kg适配硅片、Glass Substrate、Compound Wafer 多种基板。二手设备保养规范存放环境恒温 20±3℃、湿度 40%-60% RH配备防震基座每日巡检真空管路泄漏值、伺服电机运行电流每周使用高纯 N₂吹扫机械臂关节粉尘每月拆解清洁真空吸盘Vacuum Chuck排查石墨涂层磨损每季度校准原点定位、更换伺服密封氟橡胶圈半年检测编码器信号稳定性长期停机需保持低真空封存启动前空载预热 30min 完成各轴补偿校准减少晶圆偏移、掉片良率故障。海翔科技 专业提供全球二手半导体设备。合规声明参数源自 BROOKS 原厂产品手册、海外设备招标公示台账仅作半导体行业技术交流不用于商业交易。免责声明Disclaimer一、内容溯源与适用范围Source Scope of Application本文全部技术参数、结构原理、机型适配及对比数据均源自设备原厂官方资料、权威标准文献及公开招标验收文件仅用于技术研究、方案对比及行业参考不作任何商业用途。二、内容效力与权责界定Validity Liability Definition本文观点与结论为通用技术参考非设备原厂官方定论不构成任何商业承诺、履约标准及验收依据未经原厂实测核验不得用于项目验收、举证追责。三、风险承担与合规说明Risk Assumption Compliance Statement使用者擅自套用、篡改本文内容产生的一切风险与法律责任由使用者自行承担本文作者及所属单位不承担任何连带责任。若存在版权及侵权异议将及时核实整改。